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等離子體清洗技術分為幾類

作者:等離子清洗機發表時間:2018-01-16 16:32:13瀏覽量:5646

  等離子體主要是通過氣體放電產生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質,具有活化材料表面的作用。下面,三和波達介紹下等離子體清洗技術分為幾類。   根據反應類型不同,等離子體清洗技...
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  等離子體主要是通過氣體放電產生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質,具有活化材料表面的作用。下面,三和波達介紹下等離子體清洗技術分為幾類。

 

  根據反應類型不同,等離子體清洗技術可分為兩類:等離子體物理清洗,即借助活性粒子和高能射線轟擊而使污染物脫離;等離子體化學清洗,即通過活性粒子與雜質分子反應而使污染物揮發脫離。

 

 ?。?/span>1)激發頻率對等離子體的清洗類型具有一定影響。例如,超聲等離子體(激發頻率,40kHz)發生的反應多為物理反應;微波等離子體(激發頻率,2.45GHz)發生的反應多為化學反應;而射頻等離子體(激發頻率,13.56MHz)則涉及到物理、化學雙重反應類型。

 

 ?。?/span>2)工作氣體種類對等離子體清洗類型也具有一定影響。例如,惰性氣體Ar2、N2等被激發產生的等離子體主要用于物理清洗,借助轟擊作用使材料表面清潔;而反應性氣體O2、H2等被激發產生的等離子體則主要用于化學清洗,借助活潑自由基與污染物(多為碳氫化合物)發生化學反應,產生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子,從材料表面移除。

 

 ?。?/span>3)等離子體清洗類型對清洗效果具有一定的影響。等離子體物理清洗可使材料表面的粗糙度增加,有助于提高材料表面的附著力;等離子體化學清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團,有助于改善材料的表面浸潤性。

 

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